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 Wooptix于法国安装首套量测系统，部署半导体生产应用
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【卡城华人网 www.calgarychina.ca】 2026-07-24 10:50 免责声明： 本消息未经核实，不代表网站的立场、观点，如有侵权，请联系删除。 |
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半导体波前相位成像量测技术业者Wooptix宣布，已于法国技术研究机构CEA-Leti位于格勒诺布尔的技术研究机构完成首套量产规格Phemet®系统安装，意味系统正式部署于半导体生产应用。 该系统于2026年5月4日正式完成安装，未来将在工业级半导体无尘室与先进研发试量产环境中，支援双方针对晶圆尺度制程特征、奈米表面形貌及先进封装量测等领域展开合作。 
Wooptix执行长José Manuel Ramos 表示，透过与CEA-Leti合作，得以在高度受控的半导体无尘室环境中验证Phemet®，并携手全球顶尖半导体业者，针对实际制程开发挑战建立应用验证成果。这项计画也进一步巩固Wooptix在欧洲重要半导体聚落—法国格勒诺布尔（Grenoble）的布局。 Wooptix指出，透过这项合作，能在与实际产品及制程高度相关的环境中，直接测试、验证并持续完善其技术，同时在欧洲最先进的研发设施之一探索新的应用。 CEA-Leti合作计画经理Viorel Balan指出，与Wooptix的合作为因应最前沿的奈米表面形貌量测挑战开启了新的可能性。透过Phemet®平台，希望进一步深化对相关制程的理解，支援欧盟研究计画，并加速下一世代先进封装技术的研发。 Wooptix于2025年11月正式推出Phemet®量测系统。该系统能以极高速度及精度执行晶圆形貌与几何量测，并提供亚奈米级解析能力。随着半导体产业持续朝向更高效能、更小尺寸及更复杂的元件发展，并导入奈米尺度特征与新型整合架构，市场对更先进制程控制能力的需求也持续增加。Phemet®正是为回应高产量制造环境中的此项需求而开发。 来源：科技新报 编辑(Edit) 删除(Delete) |
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